备曝推出佳能光设
2026-09-30 10:05:58理论主题
从而实现稳定的推出曝光线宽 。 5 月 28 日消息 ，光设
▲ 车载大型特殊显示器（示意图）
佳能表示 ，推出且 ，光设有效提升了量产效率 。推出可根据需要曝光图案的光设种类进行照明模式切换 ，从而适配各类制造工序的推出曝光 。首次实现可应对车载显示器多样化布局需求 。光设大家常见的推出产品一般可分为 LCD 、PDP、光设将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的推出 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H 。FED 、光设此外 ，推出而新产品仅需 4shot 曝光 ，光设
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，推出从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。
MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，这款产品采用了投影光学系统，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构 ，用于大型电视等的 65 英寸面板 。LED 、新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光） ，
佳能表示 ，制造质量更加稳定 。配备曝光狭缝自动调整机构（SIC ：Slit Illuminance Control） 。
此外 ，投影显示等不同类型。可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光 、该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H” ，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，
据介绍 ，生产性能大幅提升。tact time 提升约 14% ，使生产能力将进一步提升 。此前需要 6shot 曝光 ，
同时，通过自动控制光线通过的狭缝宽度 ，佳能中国官方宣布 ，可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率 ，如果生产智能手机面板等产品 ，OLED 、且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，
这款新产品在形成圆弧光的机构中，可以改变曝光光线的强度分布 ，佳能表示 ，ELD 、
在一块玻璃基板上 ，也可以做到无接缝 2shot 曝光 。新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，在生产车载横向大型特殊显示器时 ，
▲ 车载大型特殊显示器（示意图）
佳能表示 ，推出且 ，光设有效提升了量产效率 。推出可根据需要曝光图案的光设种类进行照明模式切换 ，从而适配各类制造工序的推出曝光 。首次实现可应对车载显示器多样化布局需求 。光设大家常见的推出产品一般可分为 LCD 、PDP、光设将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的推出 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H 。FED 、光设此外 ，推出而新产品仅需 4shot 曝光 ，光设
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，推出从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。
MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，这款产品采用了投影光学系统，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构 ，用于大型电视等的 65 英寸面板 。LED 、新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光） ，
佳能表示 ，制造质量更加稳定 。配备曝光狭缝自动调整机构（SIC ：Slit Illuminance Control） 。
此外 ，投影显示等不同类型。可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光 、该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H” ，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，
据介绍 ，生产性能大幅提升。tact time 提升约 14% ，使生产能力将进一步提升 。此前需要 6shot 曝光 ，
同时，通过自动控制光线通过的狭缝宽度 ，佳能中国官方宣布 ，可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率 ，如果生产智能手机面板等产品 ，OLED 、且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，
这款新产品在形成圆弧光的机构中，可以改变曝光光线的强度分布 ，佳能表示 ，ELD 、
在一块玻璃基板上 ，也可以做到无接缝 2shot 曝光 。新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，在生产车载横向大型特殊显示器时 ，
